產(chǎn)品特色

●  準(zhǔn)確。流量測(cè)量具有NIST可溯源精度，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。

●  使用簡(jiǎn)單。只要您打開(kāi)氣體質(zhì)量流量計(jì)，氣體質(zhì)量流量計(jì)便能顯示您所選工藝設(shè)備中的實(shí)時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)。

●  連接。艾里卡特氣體質(zhì)量流量計(jì)默認(rèn)采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購(gòu)時(shí)，可選擇以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數(shù)字工業(yè)或?qū)嶒?yàn)室網(wǎng)絡(luò)整合。

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 20Q系列精度升級(jí)

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度          ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測(cè)量范圍                        0.1 ~ 100%滿量程

重復(fù)性                           ± 0.1%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移          ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                      ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移          ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差

                                      ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)    內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

測(cè)量范圍    0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯 示  屏    帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程  精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角

重  復(fù)  性    ± 0.2%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移     ± 0.01%滿量程/ ℃（從25 ℃開(kāi)始） 

                                  ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

質(zhì)量流量量程漂移     ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25 ℃開(kāi)始） 

                                  ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms                     預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75 ℃                       工作濕度    0 ~ 95%

最大工作壓力    320 psi絕壓

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

                          模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號(hào)    RS-232、RS-485、Modbus、

                          EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS

模擬輸出信號(hào)    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA

可選第二路模擬輸出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9 - 24 VDC （12 - 24 VDC用于4-20 mA輸出）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10 VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLCP選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

材       質(zhì)     302，303，304,316L不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、硅橡膠、

                   聚酰胺、環(huán)氧樹(shù)脂、金、硅、玻璃。

                   如果您申請(qǐng)需要其它材料，請(qǐng)聯(lián)系我們。

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求                 防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

選項(xiàng)配件

（需另行訂購(gòu)）

過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器

電源

通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

Flow Vision軟件

包裝清單

MQ系列高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)（電源需另行訂購(gòu)）

NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)

艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)