ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-11-19

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：453

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

工控儀表

動(dòng)態(tài)配氣儀溫度傳感/變送器自動(dòng)加藥裝置壓力傳感/變送器流量計(jì) 井深儀熱量表超聲波流量計(jì)

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產(chǎn)品介紹

美國(guó)ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計(jì)，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所

● 泄漏檢測(cè)

● 環(huán)境監(jiān)測(cè)

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半導(dǎo) 體

● 汽車制造

● 計(jì)量校準(zhǔn)

● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 量程可測(cè)比1%-100%

● 響應(yīng)時(shí)間快，僅需10 ms

● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類內(nèi)置了130種氣體，請(qǐng)參考背面

一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量程從0-0.5 SCCM 到 0-5000 SLPM

最大顯示流量 128 %滿量程

顯示屏帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

高精度 ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配

僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重復(fù) 性 ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移 0.02%滿量程/℃（從25℃開(kāi)始）

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移 ±（0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程）

（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）

響應(yīng)時(shí)間 10 ms

預(yù)熱時(shí)間＜1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度 ±0.75℃

工作濕度 0 ～100 %，無(wú)冷凝

最大工作壓力 1 MPa 表壓

操作壓力如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度 ±0.5%滿量程

極限耐壓 1.1MPa 表壓，進(jìn)出口最大瞬時(shí)壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

數(shù)字輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓 9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流 40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材質(zhì) 316L不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn))

可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過(guò)程連接詳情參考?jí)簱p表

安裝方式對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí) IP40

認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）

尺寸詳圖

ALICAT 氣體質(zhì)量流量計(jì)-抗腐蝕型 20S系列

尺寸壓損

滿量程質(zhì)量流量計(jì)	滿量程壓損1（psid）排氣到大氣中	機(jī)械尺寸	管道連接接口2
0.5 sccm - 1 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）（Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)）
2 sccm - 50 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）（Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)）
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.6''H ×2.4''W ×1.1''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
50 slpm	2.0	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
100 slpm	2.5	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
250 slpm	2.1	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	1/2''NPT內(nèi)螺紋
500 slpm	4.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	3/4''NPT內(nèi)螺紋（2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋）
1000 slpm	6.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D
1500 slpm	9.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
2000 slpm	5.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
3000 slpm	7.1	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內(nèi)螺紋
5000 slpm	3.4	7.0''H ×5.2''W ×3.9''D	2''NPT內(nèi)螺紋
1、見(jiàn)公制圖紙； 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。