KLA iNano 納米壓痕儀靈活易用的力學(xué)測試可廣泛用于各種材料和應(yīng)用

iNano為壓痕、硬度、劃痕測試和多元化納米級測試等納米級力學(xué)測試設(shè)計(jì)。iNano能夠測試包括軟質(zhì)高聚物到硬質(zhì)涂層和薄膜等在內(nèi)的各種材料。模塊化系統(tǒng)選項(xiàng)可以完成各種不同應(yīng)用：特定頻率測試、定量劃痕和磨損測試、集成探針成像、高溫測試和自定義方法編程等。

除了能夠推進(jìn)高?？蒲兄?，iNano還可以為以下材料和行業(yè)進(jìn)行納米壓痕測試和抗蠕變性測量：

KLA iNano 納米壓痕儀主要功能

• 模塊化設(shè)計(jì), 可提供大通量的自動化測試功能，并配有統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析包，適用于納米力學(xué)性能測量、掃描探針顯微成像、高溫測量和IV電壓電流特性測試實(shí)時(shí)的實(shí)驗(yàn)控制，簡單易用的測試流程開發(fā)和測試參數(shù)設(shè)置

• 標(biāo)準(zhǔn)的InForce 50電磁驅(qū)動器

• 集成高速控制器電子設(shè)備完成告訴數(shù)據(jù)采集高達(dá)100kHz，捕獲材料瞬間的響應(yīng)，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象。

• 集成了噪音隔離功能的剛度框架，可確保對各種材料進(jìn)行準(zhǔn)確測量

• 數(shù)碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡，精確定位樣本

• 納米壓痕老師在線講授專業(yè)納米壓痕課程，以及移動應(yīng)用程序能夠提供測試方法的實(shí)時(shí)更新

功能與選項(xiàng)概覽

KLA 核心技術(shù)

iNano 采用電磁驅(qū)動轉(zhuǎn)換器提供動力，電磁驅(qū)動加載模塊技術(shù)因其優(yōu)勢被廣泛的應(yīng)用在KLA的壓痕設(shè)備中,輕松實(shí)現(xiàn)載荷和位移的寬動態(tài)范圍的控制,提供納米級的力學(xué)測試功能, 實(shí)現(xiàn)高精度觀察與定位測試樣本,以及樣品高度的簡易調(diào)節(jié)。在其標(biāo)準(zhǔn)配置中，iNano采用了InForce 50驅(qū)動器，并提供模塊化控制器以便用戶按需要增加功能。iNano設(shè)備提供掃描探針成像功能、劃痕及磨損測試功能、高溫納米力學(xué)測試功能、連續(xù)剛度測試(CSM) 和高速3D及4D力學(xué)圖譜等模塊化升級選件。

iNano 采用的InView測試控制和數(shù)據(jù)采集軟件,包含用于簡化測試設(shè)置的帶屏幕控制的InviewRunTest，可在測試期間或之后進(jìn)行數(shù)據(jù)分析的 InView ReviewData，和生成各種綜合性測試報(bào)告的 InFocus 軟件。

連續(xù)剛度測量（CSM）

• 壓入循環(huán)期間測量剛度和其他材料特性
  

KLA的連續(xù)剛度測量技術(shù)能夠輕松評估材料在應(yīng)變速率或蠕變效應(yīng)影響下的動態(tài)力學(xué)性能。CSM技術(shù)在壓入過程中保持探針以納米級的振幅持續(xù)振動，從而獲得硬度、模量等力學(xué)性能隨深度、載荷、時(shí)間或頻率的變化而變化的特性。該選項(xiàng)提供常用的恒應(yīng)變速率測試方法，用以測量隨深度或載荷變化的硬度和模量。CSM還可用于其他測量選項(xiàng)，其中包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA方法以及AccuFilm消除基底效應(yīng)的薄測量等。連續(xù)剛度測量技術(shù)在InQuest控制器和InView軟件中集成，可以方便使用并保證數(shù)據(jù)的可靠性。

                使用 CSM 選項(xiàng)測量隨壓入深度而變化的彈性模量

AccuFilm薄膜方法

• 通過校正襯底對測量的影響對超薄膜進(jìn)行表征
  

基于連續(xù)剛度測量技術(shù)(CSM)并結(jié)合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm薄膜測試選件可測量附著于襯底的膜層材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA的超薄膜的測試技術(shù)，實(shí)驗(yàn)設(shè)置操作簡單，對于軟襯底上的硬質(zhì)膜以及硬襯底上的軟質(zhì)膜，AccuFilm都可以校正襯底在膜測量中所帶來的影響。

使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影響模量和純薄膜模量作為歸一化壓痕深度的函數(shù)

NanoBlitz 3D 快速力學(xué)性能分布

• 快速定量地測量表面力學(xué)性能分布

• 測量粗糙表面和/或異質(zhì)材料

• 通過增加觀察次數(shù)給出具有統(tǒng)計(jì)意義的結(jié)果

NanoBlitz 3D 采用快速納米壓痕測試技術(shù)，實(shí)現(xiàn)每個(gè)壓痕測試時(shí)間小于1秒。單次試驗(yàn)壓痕個(gè)數(shù)可達(dá)100000個(gè)（300X300矩陣），可在用戶的恒定加載力下，提供材料彈性模量，硬度和接觸剛度的三維圖譜。快速且大量的測試點(diǎn)提高了統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性，同時(shí)可以直接對不同相或不同特性區(qū)域進(jìn)行力學(xué)均值、分布和面積占比的統(tǒng)計(jì)。NanoBlitz 3D功能為用戶提供數(shù)據(jù)可視化和強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析處理功能。

使用 NanoBlitz 3D 選項(xiàng)繪制 WC-CO 復(fù)合材料的硬度分布圖和統(tǒng)計(jì)直方圖

NanoBlitz4D 力學(xué)性能斷層掃描

• 基于連續(xù)剛度測量(CSM) 技術(shù)的力學(xué)性能斷層掃描

NanoBlitz 4D力學(xué)譜圖利用InForce 50或InForce 1000驅(qū)動器和Berkovich壓頭為低E/H值和高模量(> 3GPa) 材料生成納米力學(xué)性質(zhì)的4D圖。NanoBlitz4D以每個(gè)壓痕5秒的速度完成多達(dá)10,000個(gè)壓痕（30×30陣列），并為陣列中的每個(gè)壓痕測量隨深度而變化的楊氏模量(E)、硬度(H)和剛度(S)數(shù)值。NanoBlitz 4D采用恒應(yīng)變速率方法，為用戶提供數(shù)據(jù)可視化和強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)分析處理功能。

使用 NanoBlitz 4D 選項(xiàng)針對多層薄膜繪制兩個(gè)不同壓入深度的彈性和塑性分布圖

ProbeDMA高聚物測試

聚合物測試包中配置了圓底平頭探針、粘彈性測試標(biāo)樣和粘彈特性的測試方法，該測試選件基于連續(xù)剛度測量技術(shù)，可在不同頻率條件下對材料進(jìn)行高效可靠測量，得到儲存模量和損耗模量與頻率的變化關(guān)系。該測量技術(shù)對納米量級的聚合物及聚合物薄膜的力學(xué)表征很重要。

使用圓底平頭探針測試一系列標(biāo)準(zhǔn)高聚物樣品的儲能模量

劃痕和磨損測試方法

• 壓頭通過樣品表面時(shí)對其施加恒定或漸增的載荷

iNano系統(tǒng)可以對多種材料進(jìn)行劃痕和磨損測試。在涂層和薄膜經(jīng)過化學(xué)機(jī)械拋光(CMP) 和引線鍵合等的多種工藝處理的時(shí)候，其強(qiáng)度及其對基材的附著力會備受考驗(yàn)。在加工工藝中，材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要。理想情況下，介電材料具有高硬度和高彈性模量，因?yàn)檫@些參數(shù)有助于了解材料在制造工藝中的性能變化。

劃痕測試的定量分析

300°C 樣品加熱

• 允許將樣品放入一個(gè)腔室中，以便在測試期間對其均勻加熱
  

300°C 的樣品加熱選項(xiàng)允許將樣品放置在一個(gè)腔室內(nèi)進(jìn)行均勻加熱，同時(shí)接受測試。

iNano 樣品加熱選項(xiàng)用于表征高溫下的機(jī)械性能。

該測試方法可以測量并輸出楊氏模量、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。

在一系列標(biāo)準(zhǔn)樣品上所測得的硬度值

iNano 的其他升級選項(xiàng)

遠(yuǎn)程視頻觀看 :  遠(yuǎn)程視頻選項(xiàng)包括已安裝的網(wǎng)絡(luò)攝像頭，便于在測試之前和期間查看樣品。兩個(gè)觀察角度分布為樣品設(shè)置視圖和原位測試視圖，可分別觀察樣品和納米壓頭。

DataBurst 模式 :  DataBurst 模式在高達(dá) 100kHz 的速度下觸發(fā)超級數(shù)據(jù)采集，捕獲材料瞬間響應(yīng)，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象；允許在真正的步進(jìn)荷載下測量高應(yīng)變率材料的力學(xué)性能；儀器幫助客戶精準(zhǔn)捕捉材料瞬間的真實(shí)響應(yīng)。

InView 開放式軟件編寫平臺 :  InView 采用開放式軟件編寫平臺，以幫助客戶在測試過程中實(shí)現(xiàn)加載，測量和計(jì)算的控制。用于設(shè)計(jì)新穎或復(fù)雜的實(shí)驗(yàn)。開放式軟件編寫平臺給予客戶靈活性：幫助客戶輕易采集原始測試數(shù)據(jù)到和分析結(jié)果的全面使用；客戶可以瀏覽，編輯計(jì)算公式，自定義參數(shù)，實(shí)現(xiàn)個(gè)性化試驗(yàn)設(shè)計(jì)；用戶可以自由設(shè)計(jì)和改變試驗(yàn)參數(shù)和試驗(yàn)過程，為探索新的試驗(yàn)測試提供可能。

TrueTestI-V 電學(xué)測試 :  True Test I-V 選項(xiàng)允許用戶向樣品施加特定電壓并測量壓頭的電流，以表征納米力學(xué)測量過程中電學(xué)特性的局部變化。

帶有模塊化機(jī)架的主動振動隔離:在 iNano 的內(nèi)置被動隔振的基礎(chǔ)上增加主動隔振，為超薄薄膜上高難度的納米力學(xué)測量提供了穩(wěn)定性和精確度。主動隔振系統(tǒng)減少了所有六個(gè)自由度的振動，無需進(jìn)行調(diào)整。

生物軟材料測試選項(xiàng)臺 :  生物材料測試方法利用連續(xù)剛度測試 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物軟材料;包含一個(gè)平底壓頭和測量軟材料儲存損耗模量的測試方法。

壓頭探針和校準(zhǔn)樣品 :  InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驅(qū)動器的可互換壓頭包括 Berkovich、立體角、維氏，以及平底和球體壓頭。