美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 量程可控比1%-100%

● 響應(yīng)時(shí)間快，100 ms（可調(diào)）

● 內(nèi)置128種常規(guī)及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體，請(qǐng)參考背面

                   一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

量程可控比    1%-100%

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯  示  屏    帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)

                 （從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時(shí)間（T63）  用戶可調(diào)， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms

                  10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms

                  50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms

顯示響應(yīng)時(shí)間    用戶可調(diào)， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms

                  10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms

                  50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms

預(yù)熱時(shí)間    ＜ 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

閥門功能     常閉型

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75℃               

 工作濕度    0  ～ 100 %，無(wú)冷凝

最大工作壓力    1 MPa 表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)            

極限耐壓    1.1 MPa  表壓

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）                             

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差

供電電壓    12 - 30 VDC 

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）

電氣接口    DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業(yè)接頭等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn)）

                  可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼

過(guò)程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝位置    小閥門無(wú)要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí)    IP40 

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）